GX600

Iekārtai ir vertikāla priekšējo durvju struktūra un klastera izkārtojums. To var aprīkot ar metālu un dažādu organisko materiālu iztvaikošanas avotiem, un tā var iztvaicēt dažādu specifikāciju silīcija plāksnes. Aprīkota ar precīzas izlīdzināšanas sistēmu, pārklājums ir stabils un pārklājumam ir laba atkārtojamība.
GX600 pārklāšanas iekārta var precīzi, vienmērīgi un kontrolējami iztvaicēt organiskos gaismu emitējošos materiālus vai metāla materiālus uz substrāta. Tai ir vienkāršas plēves veidošanas, augstas tīrības un augsta kompaktuma priekšrocības. Pilnībā automātiskā plēves biezuma reāllaika uzraudzības sistēma var nodrošināt procesa atkārtojamību un stabilitāti. Tā ir aprīkota ar paškušanas funkciju, lai samazinātu atkarību no operatora prasmēm.
Iekārtas var pielietot Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti un citiem metāla materiāliem, un tās var pārklāt ar metāla plēvi, dielektriskā slāņa plēvi, IMD plēvi utt. To galvenokārt izmanto pusvadītāju rūpniecībā, piemēram, barošanas ierīcēs, pusvadītāju aizmugurējā iepakojuma substrāta pārklājumā utt.