1. Ruošinio poslinkis yra mažas
Pridėjus įtaisą jonizacijos greičiui padidinti, padidėja išlydžio srovės tankis, o poslinkio įtampa sumažėja iki 0,5–1 kV.
Sumažinamas per didelio didelės energijos jonų bombardavimo sukeltas atgalinis dulkėjimas ir pažaidos poveikis ruošinio paviršiui.
2. Padidėjęs plazmos tankis
Pridėtos įvairios priemonės susidūrimo jonizacijai skatinti, o metalų jonizacijos greitis padidėjo nuo 3 % iki daugiau nei 15 %. Padidintas chino jonų ir didelės energijos neutralių atomų, azoto jonų, didelės energijos aktyviųjų atomų ir aktyviųjų grupių tankis dengimo kameroje, o tai palanku reakcijai, kuria susidaro junginiai. Pirmiau minėtos įvairios patobulintos švytinčiojo išlydžio jonų dengimo technologijos leido gauti TN kietųjų plėvelių sluoksnius reakcijos nusodinimo būdu esant didesniam plazmos tankiui, tačiau kadangi jos priklauso švytinčiojo išlydžio tipui, išlydžio srovės tankis nėra pakankamai didelis (vis dar mA/cm2 lygis), o bendras plazmos tankis nėra pakankamai didelis, todėl reakcijos nusodinimo junginių dengimo procesas yra sudėtingas.
3. Taškinio garinimo šaltinio dengimo diapazonas yra mažas
Įvairiose patobulintose jonų dengimo technologijose naudojami elektronų pluošto garinimo šaltiniai, o gantu – taškinis garinimo šaltinis, kurio reakcijos nusodinimas ribojamas tam tikru intervalu virš gantu, todėl našumas mažas, procesas sudėtingas ir sunkiai industrializuojamas.
4. Elektroninio pistoleto aukšto slėgio veikimas
Elektroninio pistoleto įtampa yra 6–30 kV, o ruošinio poslinkio įtampa yra 0,5–3 kV, tai priklauso aukštos įtampos veikimui ir kelia tam tikrų pavojų saugai.
—— Šį straipsnį išleido „Guangdong Zhenhua Technology“,optinių dengimo mašinų gamintojas.
Įrašo laikas: 2023 m. gegužės 12 d.