GX600

Įranga pritaikyta vertikaliai išdėstytoms priekinėms durims ir klasteriams. Ji gali būti aprūpinta metalų ir įvairių organinių medžiagų garinimo šaltiniais, taip pat gali garinti įvairių specifikacijų silicio plokšteles. Įrengta tikslaus lygiavimo sistema, danga yra stabili ir pasižymi geru pakartojamumu.
GX600 dengimo įranga gali tiksliai, tolygiai ir kontroliuojamai išgarinti organines šviesą skleidžiančias medžiagas arba metalines medžiagas ant pagrindo. Ji pasižymi paprastu plėvelės formavimu, dideliu grynumu ir kompaktiškumu. Visiškai automatinė plėvelės storio stebėjimo realiuoju laiku sistema gali užtikrinti proceso pakartojamumą ir stabilumą. Ji turi savaiminio lydymosi funkciją, kad sumažėtų priklausomybė nuo operatoriaus įgūdžių.
Įranga gali būti naudojama Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ir kitoms metalinėms medžiagoms, ji gali būti padengta metaline plėvele, dielektrinio sluoksnio plėvele, IMD plėvele ir kt. Ji daugiausia naudojama puslaidininkių pramonėje, pavyzdžiui, galios įrenginiuose, puslaidininkių galinio pakavimo substrato dangose ​​ir kt.