1. ຄວາມລໍາອຽງຂອງ workpiece ແມ່ນຕ່ໍາ
ເນື່ອງຈາກການເພີ່ມອຸປະກອນເພື່ອເພີ່ມອັດຕາການ ionization, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງກະແສໄຟຟ້າຈະເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະແຮງດັນໄຟຟ້າ bias ຫຼຸດລົງເປັນ 0.5 ~ 1kV.
ການ backsputtering ທີ່ເກີດຈາກການລະເບີດຫຼາຍເກີນໄປຂອງ ions ພະລັງງານສູງແລະຜົນກະທົບຄວາມເສຍຫາຍໃນຫນ້າດິນ workpiece ໄດ້ຫຼຸດລົງ.
2. ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ plasma ເພີ່ມຂຶ້ນ
ມາດຕະການຕ່າງໆເພື່ອສົ່ງເສີມການ ionization collision ໄດ້ຖືກເພີ່ມ, ແລະອັດຕາການ ionization ໂລຫະໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນຈາກ 3% ເປັນຫຼາຍກ່ວາ 15%. ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ chin ions ແລະປະລໍາມະນູທີ່ເປັນກາງທີ່ມີພະລັງງານສູງ, ໄນໂຕຣເຈນ ions, ປະລໍາມະນູທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວທີ່ມີພະລັງງານສູງແລະກຸ່ມທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວຢູ່ໃນຫ້ອງເຄືອບແມ່ນເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ການປະຕິກິລິຍາຂອງທາດປະສົມ. ເທກໂນໂລຍີການເຄືອບ ion ການລະບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ປັບປຸງໃຫ້ດີຂຶ້ນຂ້າງເທິງສາມາດໄດ້ຮັບຊັ້ນຮູບເງົາແຂງຂອງ TN ໂດຍການປະຕິກິລິຢາທີ່ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ plasma ສູງກວ່າ, ແຕ່ເນື່ອງຈາກວ່າພວກມັນເປັນປະເພດການປ່ອຍອາຍພິດ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງການປ່ອຍອາຍພິດໃນປະຈຸບັນບໍ່ສູງພໍ (ຍັງຢູ່ໃນລະດັບ mA / cm2), ແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ plasma ໂດຍລວມແມ່ນບໍ່ມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກພຽງພໍ, ແລະຂະບວນການປະສົມ.
3. ລະດັບການເຄືອບຂອງແຫຼ່ງ evaporation ຈຸດແມ່ນຂະຫນາດນ້ອຍ
ເຕັກໂນໂລຍີການເຄືອບ ion ການປັບປຸງຕ່າງໆໃຊ້ແຫຼ່ງ evaporation beam ເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະ gantu ເປັນແຫຼ່ງການລະເຫີຍຂອງຈຸດ, ເຊິ່ງຖືກຈໍາກັດໃນໄລຍະທີ່ແນ່ນອນຂ້າງເທິງ gantu ສໍາລັບການລະເຫີຍຂອງປະຕິກິລິຍາ, ດັ່ງນັ້ນຜົນຜະລິດແມ່ນຕໍ່າ, ຂະບວນການມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກ, ແລະມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນອຸດສາຫະກໍາ.
4. ປືນເອເລັກໂຕຣນິກປະຕິບັດງານຄວາມກົດດັນສູງ
ແຮງດັນໄຟຟ້າຂອງປືນໄຟຟ້າແມ່ນ 6 ~ 30kV, ແລະແຮງດັນໄຟຟ້າ bias ຂອງ workpiece ແມ່ນ 0.5 ~ 3kV, ເຊິ່ງຂຶ້ນກັບການດໍາເນີນງານຂອງແຮງດັນສູງແລະມີອັນຕະລາຍດ້ານຄວາມປອດໄພທີ່ແນ່ນອນ.
—— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເປີດເຜີຍໂດຍ Guangdong Zhenhua Technology, aຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບ optical.
ເວລາປະກາດ: 12-05-2023