GX600

Жабдуулар алдыңкы эшиктин вертикалдуу түзүлүшүн жана кластердин схемасын кабыл алат. Ал металлдарды жана ар кандай органикалык материалдарды буулантуу булактары менен жабдылышы мүмкүн, ошондой эле ар кандай спецификациядагы кремний пластинкаларын бууландыра алат. так тегиздөө системасы менен жабдылган, каптоо туруктуу жана каптоо жакшы кайталануу бар.
GX600 каптоочу жабдуулар органикалык жарык берүүчү материалдарды же металл материалдарды субстраттын үстүнө так, бирдей жана башкарылуучу буулантат. Бул жөнөкөй пленка түзүү, жогорку тазалык жана жогорку компакттуулук артыкчылыктарга ээ. Толук автоматтык пленканын калыңдыгын реалдуу убакыт режиминде көзөмөлдөө тутуму процесстин кайталануусун жана туруктуулугун камсыздай алат. Ал оператордун көндүмдөрүнө көз карандылыкты азайтуу үчүн өзүн-өзү эрүү функциясы менен жабдылган.
Жабдуулар Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti жана башка металл материалдарына колдонулушу мүмкүн жана металл пленкасы, диэлектрик катмары пленкасы, IMD тасмасы, ж.б., ал негизинен жарым өткөргүч тармагында колдонулат, мисалы, электр аппараттары, жарым өткөргүч арткы пакеттөө субстрат каптоо ж.б.