Amûr avahiya deriyê pêşiyê yê vertîkal û nexşeya komê bikar tîne. Ew dikare bi çavkaniyên buharbûnê ji bo metalan û cûrbecûr materyalên organîk were saz kirin, û dikare waflên silîkonê yên taybetmendiyên cûrbecûr buhar bike. Bi pergala hevrêzkirina rast ve hatî saz kirin, pêçandin stabîl e û pêçandin xwedan dubarekirinek baş e.
Amûrên pêçandina GX600 dikarin materyalên organîk ên ronahiyê an materyalên metalî bi awayekî rast, wekhev û kontrolkirî li ser substratê bihelînin. Ew xwedî avantajên avakirina fîlimê ya hêsan, paqijiya bilind û kompaktbûna bilind e. Pergala çavdêriya rast-dem a qalindahiya fîlimê ya bi tevahî otomatîk dikare dubarekirin û aramiya pêvajoyê misoger bike. Ew bi fonksiyona xwe-helandinê ve hatî çêkirin da ku girêdayîbûna bi jêhatîbûna operator kêm bike.
Ev amûr dikare li ser Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti û materyalên din ên metalî were sepandin, û dikare bi fîlima metal, fîlima qata dielektrîkê, fîlima IMD, û hwd. were pêçandin. Ew bi giranî di pîşesaziya nîvconductor de tê bikar anîn, wekî cîhazên hêzê, pêçandina substrata pakkirina paşîn a nîvconductor, û hwd.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |