1. სამუშაო ნაწილის მიკერძოება დაბალია
იონიზაციის სიჩქარის გაზრდის მოწყობილობის დამატების გამო, განმუხტვის დენის სიმკვრივე იზრდება და გადახრის ძაბვა მცირდება 0.5~1 კვ-მდე.
მცირდება მაღალი ენერგიის იონების ჭარბი დაბომბვით გამოწვეული უკუგფრქვევა და სამუშაო ნაწილის ზედაპირზე დაზიანების ზემოქმედება.
2. პლაზმის სიმკვრივის გაზრდა
დამატებულია შეჯახების იონიზაციის ხელშეწყობის სხვადასხვა ღონისძიება და ლითონის იონიზაციის სიჩქარე 3%-დან 15%-ზე მეტამდე გაიზარდა. იზრდება ჩინური იონების და მაღალი ენერგიის ნეიტრალური ატომების, აზოტის იონების, მაღალი ენერგიის აქტიური ატომების და აქტიური ჯგუფების სიმკვრივე საფარის კამერაში, რაც ხელს უწყობს ნაერთების წარმოქმნის რეაქციას. ზემოთ ჩამოთვლილი სხვადასხვა გაძლიერებული ნათების განმუხტვის იონური საფარის ტექნოლოგიებით შესაძლებელი გახდა TN მყარი ფენების მიღება რეაქციის დეპონირებით უფრო მაღალი პლაზმური სიმკვრივით, მაგრამ რადგან ისინი ნათების განმუხტვის ტიპს მიეკუთვნებიან, განმუხტვის დენის სიმკვრივე არ არის საკმარისად მაღალი (კვლავ mA/cm2 დონე) და პლაზმური სიმკვრივე არ არის საკმარისად მაღალი, რაც იწვევს ნაერთის დაფარვის რეაქციის დეპონირების პროცესს.
3. წერტილოვანი აორთქლების წყაროს საფარის დიაპაზონი მცირეა
გაძლიერებული იონური საფარის სხვადასხვა ტექნოლოგია იყენებს ელექტრონული სხივური აორთქლების წყაროებს და განტუს, როგორც წერტილოვან აორთქლების წყაროს, რომელიც რეაქციის დეპონირებისთვის შემოიფარგლება განტუს ზემოთ გარკვეული ინტერვალით, ამიტომ პროდუქტიულობა დაბალია, პროცესი რთულია და მისი ინდუსტრიალიზაცია რთულია.
4. ელექტრონული იარაღის მაღალი წნევით მუშაობა
ელექტრონული იარაღის ძაბვაა 6~30 კვ, ხოლო სამუშაო ნაწილის გადახრის ძაბვაა 0.5~3 კვ, რაც მაღალი ძაბვის მუშაობას ეხება და გარკვეულ უსაფრთხოების რისკებს შეიცავს.
——ეს სტატია გამოქვეყნდა Guangdong Zhenhua Technology-ის მიერ,ოპტიკური საფარის მანქანების მწარმოებელი.
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 12 მაისი