1. Hlutverkshlutans skekkju er lítil
Vegna þess að tæki er bætt við til að auka jónunarhraðann eykst útskriftarstraumþéttleiki og skekkjuspennan minnkar í 0,5 ~ 1 kV.
Bakþrýstingurinn sem orsakast af óhóflegri sprengjuáhrifum orkuríkra jóna og skaðaáhrif á yfirborð vinnustykkisins minnka.
2. Aukin plasmaþéttleiki
Ýmsar aðgerðir til að stuðla að árekstrarjónun hafa verið bættar við og málmjónunarhraðinn hefur aukist úr 3% í meira en 15%. Þéttleiki kínjóna og orkuríkra hlutlausra atóma, köfnunarefnisjóna, orkuríkra virkra atóma og virkra hópa í húðunarklefanum er aukinn, sem stuðlar að viðbrögðum til að mynda efnasambönd. Ofangreindar ýmsar bættar glóútblástursjónahúðunartæknir hafa getað fengið TN-hörð filmulög með viðbragðsútfellingu við hærri plasmaþéttleika, en vegna þess að þær tilheyra glóútblástursgerðinni er útblástursstraumþéttleikinn ekki nógu hár (enn mA/cm2 stig) og heildarplasmaþéttleikinn er ekki nógu hár og ferlið við viðbragðsútfellingarefnasambandshúðun er erfitt.
3. Húðunarsvið punktuppgufunargjafans er lítið
Ýmsar tækniframfarir í jónhúðun nota rafeindageislauppgufunargjafa og gantu sem punktuppgufunargjafa, sem er takmarkaður við ákveðið bil fyrir ofan gantu fyrir viðbragðsútfellingu, þannig að framleiðnin er lítil, ferlið erfitt og erfitt er að iðnvæða það.
4. Rafræn háþrýstingsaðgerð með byssu
Spenna rafeindabyssunnar er 6 ~ 30 kV og spenna vinnustykkisins er 0,5 ~ 3 kV, sem tilheyrir háspennuaðgerðum og hefur ákveðnar öryggisáhættu í för með sér.
—— Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua Technology, aframleiðandi á ljósfræðilegum húðunarvélum.
Birtingartími: 12. maí 2023