GX600

Búnaðurinn notar lóðrétta aðalhurð og klasauppsetningu. Hann getur verið útbúinn með uppgufunargjöfum fyrir málma og ýmis lífræn efni og getur gufað upp kísilplötur af ýmsum gerðum. Með nákvæmu samræmingarkerfi er húðunin stöðug og endurtekningarnákvæm.
GX600 húðunarbúnaður getur nákvæmlega, jafnt og stjórnað uppgufun lífrænna ljósgeislandi efna eða málmefna á undirlagið. Hann hefur kosti eins og einfalda filmumyndun, mikla hreinleika og mikla þéttleika. Sjálfvirkt rauntíma eftirlitskerfi með filmuþykkt getur tryggt endurtekningarhæfni og stöðugleika ferlisins. Hann er búinn sjálfbræðslu til að draga úr þörfinni fyrir færni notandans.
Búnaðurinn er hægt að nota á Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti og önnur málmefni og hægt er að húða hann með málmfilmu, díelektrískum lagfilmu, IMD filmu o.s.frv. Hann er aðallega notaður í hálfleiðaraiðnaði, svo sem aflgjafa, undirlagshúðun á aftari hálfleiðurum o.s.frv.