Սարքավորումն ունի ուղղահայաց մուտքի դռան կառուցվածք և կլաստերի դասավորություն։ Այն կարող է հագեցած լինել մետաղների և տարբեր օրգանական նյութերի գոլորշիացման աղբյուրներով և կարող է գոլորշիացնել տարբեր բնութագրերի սիլիցիումային թիթեղներ։ Հագեցած է ճշգրիտ դասավորության համակարգով, ծածկույթը կայուն է, և ծածկույթն ունի լավ կրկնելիություն։
GX600 ծածկույթային սարքավորումները կարող են ճշգրիտ, հավասարաչափ և վերահսկելիորեն գոլորշիացնել օրգանական լույս արձակող նյութերը կամ մետաղական նյութերը հիմքի վրա: Այն ունի պարզ թաղանթի ձևավորման, բարձր մաքրության և բարձր կոմպակտության առավելություններ: Թաղանթի հաստության լրիվ ավտոմատ իրական ժամանակի մոնիթորինգի համակարգը կարող է ապահովել գործընթացի կրկնելիությունը և կայունությունը: Այն հագեցած է ինքնահալման գործառույթով՝ օպերատորի հմտություններից կախվածությունը նվազեցնելու համար:
Սարքավորումը կարող է կիրառվել Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti և այլ մետաղական նյութերի վրա և կարող է պատվել մետաղական թաղանթով, դիէլեկտրիկ շերտային թաղանթով, IMD թաղանթով և այլն: Այն հիմնականում օգտագործվում է կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ, ինչպիսիք են էլեկտրական սարքերը, կիսահաղորդչային հետևի փաթեթավորման հիմքի ծածկույթը և այլն:
| GX600 | GX900 |
| φ600*800 (մմ) | φ900*H1050 (մմ) |