GX600

A berendezés függőleges bejárati ajtószerkezetet és klaszterelrendezést alkalmaz. Felszerelhető fémek és különféle szerves anyagok párologtató forrásaival, és különféle specifikációjú szilíciumlapkák elpárologtatására is alkalmas. Precíziós illesztőrendszerrel felszerelve, a bevonat stabil és jó ismételhetőségű.
A GX600 bevonóberendezés pontosan, egyenletesen és szabályozottan képes szerves fénykibocsátó anyagokat vagy fémes anyagokat elpárologtatni az aljzatra. Előnyei az egyszerű filmképzés, a nagy tisztaság és a nagyfokú tömörség. A teljesen automatikus filmvastagság valós idejű monitorozó rendszere biztosítja a folyamat megismételhetőségét és stabilitását. Önolvasztó funkcióval van felszerelve, hogy csökkentse a kezelő szakértelmétől való függőséget.
A berendezés Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti és más fémes anyagokra alkalmazható, és bevonható fémfóliával, dielektromos rétegfóliával, IMD fóliával stb. Főként a félvezetőiparban használják, például teljesítményeszközökben, félvezető hátsó csomagolású aljzatbevonatban stb.