1. Patipri pyès travay la ba
Akòz adisyon yon aparèy pou ogmante to iyonizasyon an, dansite kouran egzeyat la ogmante, epi vòltaj polarizasyon an redwi a 0.5 ~ 1kV.
Backsputtering ki koze pa bonbadman twòp iyon ki gen anpil enèji ak efè domaj sou sifas pyès la redwi.
2. Ogmantasyon dansite plasma
Yo te ajoute plizyè mezi pou ankouraje iyonizasyon kolizyon, epi to iyonizasyon metal la ogmante soti nan 3% pou rive plis pase 15%. Dansite iyon chin yo ak atòm net ki gen gwo enèji, iyon azòt, atòm aktif ki gen gwo enèji ak gwoup aktif nan chanm kouch la ogmante, sa ki fezab pou reyaksyon an pou fòme konpoze yo. Divès teknoloji kouch iyon egzeyat lumineux amelyore ki anwo yo te kapab jwenn kouch fim di TN pa depo reyaksyon nan dansite plasma ki pi wo, men paske yo fè pati de kalite egzeyat lumineux la, dansite kouran egzeyat la pa ase wo (toujou nivo mA/cm2), epi dansite plasma jeneral la pa ase wo, epi pwosesis kouch konpoze depo reyaksyon an difisil.
3. Ranje kouch sous evaporasyon pwen an piti
Diferan teknoloji kouch iyon amelyore yo itilize sous evaporasyon gwo bout bwa elektwon, ak gantu kòm yon sous evaporasyon pwen, ki limite a yon sèten entèval anlè gantu pou depo reyaksyon, kidonk pwodiktivite a ba, pwosesis la difisil, epi li difisil pou endistriyalize.
4. Operasyon zam elektwonik anba gwo presyon
Vòltaj kanon elektwon an se 6 ~ 30kV, epi vòltaj polarizasyon pyès travay la se 0.5 ~ 3kV, ki fè pati operasyon vòltaj segondè epi ki gen sèten danje sekirite.
—— Atik sa a te pibliye pa Guangdong Zhenhua Technology, yon konpayi...manifakti machin kouch optik.
Dat piblikasyon: 12 Me 2023