Ekipman an adopte yon estrikti pòt devan vètikal ak yon aranjman gwoupman. Li ka ekipe ak sous evaporasyon pou metal ak divès materyèl òganik, epi li ka evapore waf silikon ki gen divès espesifikasyon. Ekipe ak yon sistèm aliyman presizyon, kouch la estab epi kouch la gen bon repetibilite.
Ekipman kouch GX600 la ka fè materyèl òganik ki emèt limyè oswa materyèl metal evapore sou substra a avèk presizyon, inifòmite ak kontwòl. Li gen avantaj fòmasyon fim senp, pite segondè ak konpakte segondè. Sistèm siveyans epesè fim konplètman otomatik an tan reyèl la ka asire repetabilite ak estabilite pwosesis la. Li ekipe ak fonksyon oto-fonn pou diminye depandans sou konpetans operatè a.
Ekipman an ka aplike sou Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ak lòt materyèl metalik, epi li ka kouvri ak fim metalik, fim kouch dyelèktrik, fim IMD, elatriye. Li sitou itilize nan endistri semi-kondiktè, tankou aparèy pouvwa, kouch substrat anbalaj dèyè semi-kondiktè, elatriye.
| GX600 | GX900 |
| φ600 * 800 (milimèt) | φ900 * H1050 (milimèt) |