1. Pristranost obratka je niska
Zbog dodavanja uređaja za povećanje brzine ionizacije, gustoća struje pražnjenja se povećava, a napon prednapona se smanjuje na 0,5~1 kV.
Smanjeno je povratno raspršivanje uzrokovano prekomjernim bombardiranjem visokoenergetskim ionima i učinak oštećenja na površinu obratka.
2. Povećana gustoća plazme
Dodane su razne mjere za poticanje kolizijske ionizacije, a stopa ionizacije metala povećala se s 3% na više od 15%. Gustoća cinkovih iona i visokoenergetskih neutralnih atoma, dušikovih iona, visokoenergetskih aktivnih atoma i aktivnih skupina u komori za premazivanje je povećana, što pogoduje reakciji stvaranja spojeva. Gore navedene različite poboljšane tehnologije ionskog premazivanja tlijnim pražnjenjem uspjele su dobiti TN tvrde filmske slojeve reakcijskim taloženjem pri većim gustoćama plazme, ali budući da pripadaju tipu tlijnog pražnjenja, gustoća struje pražnjenja nije dovoljno visoka (još uvijek na razini mA/cm2), a ukupna gustoća plazme nije dovoljno visoka, te je proces reakcijskog taloženja spoja otežan.
3. Raspon premaza točkastog izvora isparavanja je mali
Razne tehnologije poboljšanog ionskog premazivanja koriste izvore isparavanja elektronskim snopom i gantu kao točkasti izvor isparavanja, koji je ograničen na određeni interval iznad gantua za reakcijsko taloženje, pa je produktivnost niska, proces je težak i teško ga je industrijalizirati.
4. Rad elektroničkog pištolja pod visokim tlakom
Napon elektronskog topa je 6~30kV, a napon prednapona obratka je 0,5~3kV, što pripada visokonaponskom radu i nosi određene sigurnosne rizike.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology,proizvođač strojeva za optičke premaze.
Vrijeme objave: 12. svibnja 2023.