GX600

Oprema ima vertikalnu strukturu prednjih vrata i raspored klastera. Može biti opremljena izvorima isparavanja za metale i razne organske materijale te može isparavati silicijske pločice različitih specifikacija. Opremljena sustavom preciznog poravnanja, premaz je stabilan i ima dobru ponovljivost.
Oprema za premazivanje GX600 može precizno, ravnomjerno i kontrolirano isparavati organske materijale koji emitiraju svjetlost ili metalne materijale na podlogu. Ima prednosti jednostavnog formiranja filma, visoke čistoće i visoke kompaktnosti. Potpuno automatski sustav za praćenje debljine filma u stvarnom vremenu može osigurati ponovljivost i stabilnost procesa. Opremljen je funkcijom samootapanja kako bi se smanjila ovisnost o vještinama operatera.
Oprema se može primijeniti na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i druge metalne materijale, te se može premazati metalnim filmom, dielektričnim slojem filma, IMD filmom itd. Uglavnom se koristi u poluvodičkoj industriji, kao što su energetski uređaji, premazivanje stražnje pakirne podloge poluvodiča itd.