Kayan aikin suna ɗaukar tsarin ƙofar gaba a tsaye da shimfidar tari. Ana iya sanye shi da maɓuɓɓugar ƙafe don karafa da kayan halitta daban-daban, kuma yana iya ƙafe wafern siliki na ƙayyadaddun bayanai daban-daban. An sanye shi da daidaitaccen tsarin daidaitawa, rufin yana da kwanciyar hankali kuma murfin yana da maimaitawa mai kyau.
Kayan aikin sutura na GX600 na iya daidai, a ko'ina da sarrafa kayan da ke fitar da hasken halitta ko kayan ƙarfe a kan ma'aunin. Yana da abũbuwan amfãni daga cikin sauki fim samuwar, high tsarki da kuma high compactness. Cikakken fim ɗin kauri na atomatik na tsarin kulawa na ainihi na iya tabbatar da maimaitawa da kwanciyar hankali na tsari. An sanye shi da aikin narkewar kai don rage dogaro ga ƙwarewar mai aiki.
Ana iya amfani da kayan aiki zuwa Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti da sauran kayan ƙarfe, kuma ana iya rufe shi da fim ɗin ƙarfe, fim ɗin dielectric Layer, fim ɗin IMD, da dai sauransu ana amfani da shi a cikin masana'antar semiconductor, kamar na'urorin wutar lantarki, semiconductor na baya marufi substrate shafi, da dai sauransu.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |