GX600

આ સાધન આગળના દરવાજાની ઊભી રચના અને ક્લસ્ટર લેઆઉટ અપનાવે છે. તે ધાતુઓ અને વિવિધ કાર્બનિક પદાર્થો માટે બાષ્પીભવન સ્ત્રોતોથી સજ્જ થઈ શકે છે, અને વિવિધ વિશિષ્ટતાઓના સિલિકોન વેફર્સને બાષ્પીભવન કરી શકે છે. ચોકસાઇ સંરેખણ સિસ્ટમથી સજ્જ, કોટિંગ સ્થિર છે અને કોટિંગ સારી પુનરાવર્તિતતા ધરાવે છે.
GX600 કોટિંગ સાધનો સચોટ, સમાન અને નિયંત્રિત રીતે કાર્બનિક પ્રકાશ-ઉત્સર્જન કરતી સામગ્રી અથવા ધાતુ સામગ્રીને સબસ્ટ્રેટ પર બાષ્પીભવન કરી શકે છે. તેમાં સરળ ફિલ્મ રચના, ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ કોમ્પેક્ટનેસના ફાયદા છે. પૂર્ણ-સ્વચાલિત ફિલ્મ જાડાઈ રીઅલ-ટાઇમ મોનિટરિંગ સિસ્ટમ પ્રક્રિયાની પુનરાવર્તિતતા અને સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરી શકે છે. તે ઓપરેટરની કુશળતા પર નિર્ભરતા ઘટાડવા માટે સ્વ-ગલન કાર્યથી સજ્જ છે.
આ સાધનો Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti અને અન્ય ધાતુ સામગ્રી પર લાગુ કરી શકાય છે, અને તેને મેટલ ફિલ્મ, ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર ફિલ્મ, IMD ફિલ્મ વગેરેથી કોટ કરી શકાય છે. તેનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે સેમિકન્ડક્ટર ઉદ્યોગમાં થાય છે, જેમ કે પાવર ડિવાઇસ, સેમિકન્ડક્ટર રીઅર પેકેજિંગ સબસ્ટ્રેટ કોટિંગ, વગેરે.