1. De wurkstikfoarspanning is leech
Troch de tafoeging fan in apparaat om de ionisaasjesnelheid te ferheegjen, wurdt de ûntladingsstroomtichtens ferhege, en wurdt de biasspanning fermindere nei 0,5 ~ 1 kV.
De eftersputtering feroarsake troch oermjittich bombardemint fan hege-enerzjy-ionen en it skea-effekt op it wurkstikoerflak wurde fermindere.
2. Ferhege plasmadichtheid
Ferskate maatregels om botsingsionisaasje te befoarderjen binne tafoege, en de metaalionisaasjesnelheid is tanommen fan 3% nei mear as 15%. De tichtens fan kinionen en neutrale atomen mei hege enerzjy, stikstofionen, aktive atomen mei hege enerzjy en aktive groepen yn 'e coatingkeamer is ferhege, wat geunstich is foar de reaksje om ferbiningen te foarmjen. De boppesteande ferskate ferbettere gloei-ûntladingsioncoatingtechnologyen hawwe TN-hurde filmlagen krigen troch reaksjeôfsetting by hegere plasmadichtheden, mar om't se ta it gloei-ûntladingstype hearre, is de ûntladingsstroomdichtheid net heech genôch (noch altyd mA/cm2-nivo), en de totale plasmadichtheid is net heech genôch, en it proses fan reaksjeôfsetting fan ferbiningcoating is lestich.
3. It coatingberik fan 'e puntferdampingsboarne is lyts
Ferskate ferbettere ioncoatingtechnologyen brûke elektroanenstrielferdampingsboarnen, en gantu as in puntferdampingsboarne, dy't beheind is ta in bepaald ynterval boppe gantu foar reaksjeôfsetting, sadat de produktiviteit leech is, it proses lestich is, en it lestich te yndustrialisearjen is.
4. Hegedrukoperaasje fan it elektroanyske pistoal
De spanning fan it elektronenkanon is 6 ~ 30 kV, en de biasspanning fan it wurkstik is 0.5 ~ 3 kV, wat heart ta hege spanningsoperaasje en bepaalde feiligensrisiko's hat.
—— Dit artikel waard publisearre troch Guangdong Zhenhua Technology, infabrikant fan optyske coatingmasines.
Pleatsingstiid: 12 maaie 2023