De apparatuer brûkt in fertikale foardoarstruktuer en in klusterlayout. It kin foarsjoen wurde fan ferdampingsboarnen foar metalen en ferskate organyske materialen, en kin silisiumwafers fan ferskate spesifikaasjes ferdampe. Foarsjoen fan in presys útrjochtingssysteem is de coating stabyl en hat de coating in goede werhelberens.
GX600 coatingapparatuer kin organyske ljochtútstjittende materialen of metalen materialen sekuer, evenredich en kontroleare ferdampe op it substraat. It hat de foardielen fan ienfâldige filmfoarming, hege suverens en hege kompaktheid. It folslein automatyske real-time monitoringsysteem foar filmdikte kin de werhelberens en stabiliteit fan it proses garandearje. It is foarsjoen fan in selssmeltfunksje om de ôfhinklikens fan 'e feardigens fan' e operator te ferminderjen.
De apparatuer kin tapast wurde op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti en oare metalen materialen, en kin wurde bedekt mei metaalfilm, diëlektryske laachfilm, IMD-film, ensfh. It wurdt benammen brûkt yn 'e healgeleideryndustry, lykas krêftapparaten, healgeleider efterferpakkingssubstraatcoating, ensfh.
| GX600 | GX900 |
| φ600 * 800 (mm) | φ900*H1050(mm) |