1. Työkappaleen esijännitys on pieni
Ionisaationopeutta lisäävän laitteen lisäämisen ansiosta purkausvirran tiheys kasvaa ja esijännite pienenee 0,5–1 kV:iin.
Liiallisen suuren energian ionien pommituksen aiheuttama takaisinroiske ja työkappaleen pintaan kohdistuvat vauriot vähenevät.
2. Lisääntynyt plasman tiheys
Erilaisia törmäysionisaation edistämiseen tähtääviä toimenpiteitä on lisätty, ja metalli-ionisaationopeus on noussut 3 prosentista yli 15 prosenttiin. Kiiinionien ja korkeaenergisten neutraalien atomien, typpiionien, korkeaenergisten aktiivisten atomien ja aktiivisten ryhmien tiheys pinnoituskammiossa on kasvanut, mikä edistää yhdisteiden muodostumisreaktiota. Edellä mainitut erilaiset parannetut hehkupurkausionipinnoitustekniikat ovat kyenneet saamaan TN-kovia kalvokerroksia reaktiopinnoituksella suuremmilla plasmatiheyksillä, mutta koska ne kuuluvat hehkupurkaustyyppiin, purkausvirran tiheys ei ole riittävän korkea (edelleen mA/cm2-taso), eikä plasman kokonaistiheys ole riittävän korkea, ja reaktiopinnoitusyhdistepinnoitusprosessi on vaikea.
3. Pistehaihdutuslähteen pinnoitusalue on pieni
Useissa parannetuissa ionipinnoitustekniikoissa käytetään elektronisuihkuhaihdutuslähteitä ja gantua pistehaihdutuslähteenä, joka on rajoitettu tiettyyn väliin gantun yläpuolella reaktiolaskeutumista varten, joten tuottavuus on alhainen, prosessi on vaikea ja sitä on vaikea teollistaa.
4. Elektronisen pistoolin korkeapainekäyttö
Elektronitykin jännite on 6–30 kV ja työkappaleen esijännite on 0,5–3 kV, mikä kuuluu korkeajännitekäyttöön ja aiheuttaa tiettyjä turvallisuusriskejä.
——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.
Julkaisun aika: 12.5.2023