Laitteessa on pystysuora etuoven rakenne ja klusteriasettelu. Se voidaan varustaa metallien ja erilaisten orgaanisten materiaalien haihdutuslähteillä, ja se voi haihduttaa erityyppisiä piikiekkoja. Tarkka kohdistusjärjestelmä varmistaa pinnoitteen stabiilisuuden ja hyvän toistettavuuden.
GX600-pinnoituslaitteisto pystyy höyrystämään orgaanisia valoa emittoivia materiaaleja tai metallimateriaaleja tarkasti, tasaisesti ja hallitusti alustalle. Sen etuna on yksinkertainen kalvonmuodostus, korkea puhtaus ja kompaktius. Täysautomaattinen kalvonpaksuuden reaaliaikainen valvontajärjestelmä varmistaa prosessin toistettavuuden ja vakauden. Se on varustettu itsesulamistoiminnolla, joka vähentää riippuvuutta käyttäjän taidoista.
Laitteita voidaan käyttää Cu-, Al-, Co-, Cr-, Au-, Ag-, Ni-, Ti- ja muiden metallimateriaalien pinnoittamiseen, ja ne voidaan päällystää metallikalvolla, dielektrisellä kerroskalvolla, IMD-kalvolla jne. Sitä käytetään pääasiassa puolijohdeteollisuudessa, kuten teholaitteissa, puolijohteiden takapakkausten alustapinnoitteissa jne.
| GX600 | GX900 |
| φ600 * 800 (mm) | φ900 * K1050 (mm) |