۱. بایاس قطعه کار کم است
به دلیل افزودن دستگاهی برای افزایش نرخ یونیزاسیون، چگالی جریان تخلیه افزایش یافته و ولتاژ بایاس به 0.5 تا 1 کیلوولت کاهش مییابد.
پاشش معکوس ناشی از بمباران بیش از حد یونهای پرانرژی و اثر آسیب بر سطح قطعه کار کاهش مییابد.
۲. افزایش چگالی پلاسما
اقدامات مختلفی برای افزایش یونیزاسیون برخوردی اضافه شده است و نرخ یونیزاسیون فلز از ۳٪ به بیش از ۱۵٪ افزایش یافته است. چگالی یونهای چین و اتمهای خنثی پرانرژی، یونهای نیتروژن، اتمهای فعال پرانرژی و گروههای فعال در محفظه پوششدهی افزایش یافته است که برای واکنش و تشکیل ترکیبات مساعد است. فناوریهای مختلف پوششدهی یونی تخلیه تابشی پیشرفته فوق، توانستهاند لایههای فیلم سخت TN را با رسوب واکنشی در چگالیهای پلاسمای بالاتر به دست آورند، اما از آنجا که آنها به نوع تخلیه تابشی تعلق دارند، چگالی جریان تخلیه به اندازه کافی بالا نیست (هنوز در سطح میلیآمپر بر سانتیمتر مربع) و چگالی کلی پلاسما به اندازه کافی بالا نیست و فرآیند رسوب واکنشی پوششدهی ترکیبات دشوار است.
۳. محدوده پوششدهی منبع تبخیر نقطهای کوچک است
فناوریهای مختلف پوششدهی یونی پیشرفته از منابع تبخیر پرتو الکترونی و گانتو به عنوان منبع تبخیر نقطهای استفاده میکنند که برای رسوبدهی واکنشی به یک بازه مشخص بالاتر از گانتو محدود میشود، بنابراین بهرهوری پایین، فرآیند دشوار و صنعتیسازی آن دشوار است.
۴. عملیات فشار قوی با تفنگ الکترونیکی
ولتاژ تفنگ الکترونی 6 تا 30 کیلوولت و ولتاژ بایاس قطعه کار 0.5 تا 3 کیلوولت است که مربوط به عملکرد ولتاژ بالا بوده و خطرات ایمنی خاصی دارد.
——این مقاله توسط شرکت فناوری گوانگدونگ ژنهوا منتشر شده است.سازنده دستگاه های پوشش دهی نوری.
زمان ارسال: ۱۲ مه ۲۰۲۳