این دستگاه از ساختار درب جلویی عمودی و چیدمان خوشهای بهره میبرد. میتواند به منابع تبخیر برای فلزات و مواد آلی مختلف مجهز شود و میتواند ویفرهای سیلیکونی با مشخصات مختلف را تبخیر کند. مجهز به سیستم ترازبندی دقیق، پوشش پایدار است و پوشش قابلیت تکرارپذیری خوبی دارد.
تجهیزات پوششدهی GX600 میتوانند مواد آلی ساطعکننده نور یا مواد فلزی را به طور دقیق، یکنواخت و کنترلشده روی زیرلایه تبخیر کنند. این دستگاه از مزایای تشکیل ساده فیلم، خلوص بالا و فشردگی بالا برخوردار است. سیستم نظارت بر ضخامت فیلم تمام اتوماتیک در زمان واقعی میتواند تکرارپذیری و پایداری فرآیند را تضمین کند. این دستگاه به عملکرد خود ذوب مجهز شده است تا وابستگی به مهارت اپراتور را کاهش دهد.
این تجهیزات را میتوان روی مس، آلومینیوم، کبالت، کروم، طلا، نقره، نیکل، تیتانیوم و سایر مواد فلزی اعمال کرد و میتوان آن را با فیلم فلزی، فیلم لایه دیالکتریک، فیلم IMD و غیره پوشش داد. این دستگاه عمدتاً در صنعت نیمهرساناها مانند دستگاههای قدرت، پوشش زیرلایه بستهبندی پشتی نیمهرساناها و غیره استفاده میشود.
| جی ایکس ۶۰۰ | جی ایکس ۹۰۰ |
| φ600 * 800 (میلی متر) | φ900 * H1050 (میلی متر) |