1. Lantzeko piezaren alborapena txikia da
Ionizazio-tasa handitzeko gailu bat gehitzean, deskarga-korrontearen dentsitatea handitzen da eta polarizazio-tentsioa 0,5~1kV-ra murrizten da.
Energia handiko ioien gehiegizko bonbardaketan eragindako atzeranzko ihinztadura eta piezaren gainazalean duen kalte-efektua murrizten dira.
2. Plasmaren dentsitatearen igoera
Talka-ionizazioa sustatzeko hainbat neurri gehitu dira, eta metalen ionizazio-tasa % 3tik % 15era igo da. Estaldura-ganberan dauden kokots-ioien eta energia handiko atomo neutroen, nitrogeno-ioien, energia handiko atomo aktiboen eta talde aktiboen dentsitatea handitu egin da, eta horrek erreakzioa errazten du konposatuak eratzeko. Goian aipatutako hainbat distira-deskarga ioien estaldura-teknologia hobetuek TN film gogorrak lortzeko gai izan dira plasma-dentsitate handiagoetan erreakzio-deposizioaren bidez, baina distira-deskarga motakoak direnez, deskarga-korrontearen dentsitatea ez da nahikoa altua (oraindik mA/cm2 maila), eta plasma-dentsitate orokorra ez da nahikoa altua, eta erreakzio-deposizioko konposatuen estalduraren prozesua zaila da.
3. Puntu-lurrunketa iturriaren estaldura-eremua txikia da
Hainbat ioi estaldura-teknologia hobetuek elektroi-sorta lurruntze-iturriak erabiltzen dituzte, eta gantu lurruntze-iturri puntual gisa, eta hau gantutik gorako tarte jakin batera mugatzen da erreakzio-deposiziorako, beraz, produktibitatea baxua da, prozesua zaila da eta industrializatzea zaila da.
4. Pistola elektronikoaren presio handiko funtzionamendua
Elektroi-kanoiaren tentsioa 6~30kV da, eta lantzen den piezaren tentsioaren tentsioa 0.5~3kV, eta hori tentsio handiko funtzionamenduari dagokio eta segurtasun-arrisku batzuk ditu.
——Artikulu hau Guangdong Zhenhua Technology-k argitaratu du,estaldura optikoko makinen fabrikatzailea.
Argitaratze data: 2023ko maiatzaren 12a