GX600

Ekipamenduak ate bertikalaren egitura eta multzoen diseinua erabiltzen ditu. Metalak eta hainbat material organiko lurruntzeko iturriekin hornitu daiteke, eta hainbat zehaztapeneko siliziozko obleak lurrundu ditzake. Zehaztasun-lerrokatze sistema batekin hornituta, estaldura egonkorra da eta errepikagarritasun ona du.
GX600 estaldura-ekipoak material organiko argi-igorleak edo metalezko materialak substratuan lurrundu ditzake zehaztasunez, modu uniformean eta kontrolatuan. Filma eratzeko erraztasunaren, purutasun handiko eta trinkotasun handiko abantailak ditu. Filmaren lodieraren denbora errealeko monitorizazio-sistema guztiz automatikoak prozesuaren errepikagarritasuna eta egonkortasuna berma ditzake. Auto-urtze funtzioarekin hornituta dago operadorearen trebetasunen mendekotasuna murrizteko.
Ekipamendua Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti eta beste metalezko material batzuetan aplika daiteke, eta metalezko filmarekin, geruza dielektrikoko filmarekin, IMD filmarekin eta abar estali daiteke. Batez ere erdieroaleen industrian erabiltzen da, hala nola potentzia gailuetan, erdieroaleen atzeko ontziratze substratuen estalduran, etab.