1. Tooriku eelpinge on madal
Ionisatsioonikiirust suurendava seadme lisamise tõttu suureneb tühjendusvoolutihedus ja eelpinge väheneb 0,5–1 kV-ni.
Kõrge energiaga ioonide liigse pommitamise põhjustatud tagasipritsimine ja tooriku pinnale tekitatud kahjustus vähenevad.
2. Suurenenud plasma tihedus
Lisatud on mitmesuguseid kokkupõrke ionisatsiooni soodustavaid meetmeid ning metalli ionisatsioonikiirus on suurenenud 3%-lt enam kui 15%-le. Kattekambris on suurenenud tüünioonide ja kõrge energiaga neutraalsete aatomite, lämmastikioonide, kõrge energiaga aktiivsete aatomite ja aktiivsete rühmade tihedus, mis soodustab ühendite moodustumise reaktsiooni. Ülaltoodud mitmesugused täiustatud hõõglahendusega ioonkatmistehnoloogiad on suutnud reaktsioonisadestamise teel saada TN-kõvasid kilekihte suurema plasmatihedusega, kuid kuna need kuuluvad hõõglahenduse tüüpi, ei ole tühjendusvoolu tihedus piisavalt kõrge (ikka mA/cm2 tasemel) ja üldine plasmatihedus ei ole piisavalt kõrge ning reaktsioonisadestamise ühendi katmise protsess on keeruline.
3. Punktaurustusallika katmisulatus on väike
Erinevad täiustatud ioonkatte tehnoloogiad kasutavad elektronkiire aurustusallikaid ja gantu punktaurustusallikana, mis on reaktsiooni sadestamiseks piiratud teatud intervalliga gantu kohal, mistõttu on tootlikkus madal, protsess keeruline ja seda on raske industrialiseerida.
4. Elektroonilise püstoli kõrgsurverežiim
Elektronpüstoli pinge on 6–30 kV ja tooriku eelpinge on 0,5–3 kV, mis kuulub kõrgepinge töörežiimi ja millel on teatud ohutusriskid.
—— Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua Technology, ettevõteoptiliste katmismasinate tootja.
Postituse aeg: 12. mai 2023