GX600

Seade kasutab vertikaalset välisukse struktuuri ja klastri paigutust. Seda saab varustada metallide ja mitmesuguste orgaaniliste materjalide aurustusallikatega ning see suudab aurustada erineva spetsifikatsiooniga räniplaate. Täppisjoondussüsteemiga varustatud kate on stabiilne ja hea korduvusega.
GX600 katmisseade suudab orgaanilisi valgust kiirgavaid materjale või metallmaterjale aluspinnale täpselt, ühtlaselt ja kontrollitavalt aurustada. Selle eelised on lihtne kile moodustamine, kõrge puhtusaste ja kompaktsus. Täisautomaatne kile paksuse reaalajas jälgimissüsteem tagab protsessi korduvuse ja stabiilsuse. See on varustatud ise sulava funktsiooniga, et vähendada sõltuvust operaatori oskustest.
Seadmeid saab kasutada Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ja muude metallmaterjalide katmiseks ning neid saab katta metallkilega, dielektrilise kihi kilega, IMD-kilega jne. Seda kasutatakse peamiselt pooljuhtide tööstuses, näiteks jõuseadmetes, pooljuhtide tagumise pakendi aluspinna katmisel jne.