1. La biaso de la laborpeco estas malalta
Pro la aldono de aparato por pliigi la jonigan rapidon, la denseco de la malŝarĝa kurento pliiĝas, kaj la biasa tensio reduktiĝas al 0,5~1kV.
La malantaŭa ŝprucado kaŭzita de troa bombado de alt-energiaj jonoj kaj la difekta efiko sur la laborpeco estas reduktitaj.
2. Pliigita plasmodenseco
Diversaj mezuroj por antaŭenigi kolizian jonigon estis aldonitaj, kaj la metala joniga indico pliiĝis de 3% al pli ol 15%. La denseco de mentonaj jonoj kaj alt-energiaj neŭtralaj atomoj, nitrogenaj jonoj, alt-energiaj aktivaj atomoj kaj aktivaj grupoj en la tega ĉambro estas pliigita, kio favoras la reakcion por formi kombinaĵojn. La supre menciitaj diversaj plibonigitaj lumingaj malŝarĝaj jonaj tegaj teknologioj sukcesis akiri TN-malmolajn filmtavolojn per reakcia deponado je pli altaj plasmodensecoj, sed ĉar ili apartenas al la luminga malŝarĝa tipo, la malŝarĝa kurentdenseco ne estas sufiĉe alta (ankoraŭ mA/cm2-nivelo), kaj la ĝenerala plasmodenseco ne estas sufiĉe alta, kaj la procezo de reakcia deponada kombinaĵotegado estas malfacila.
3. La tegaĵa gamo de la punkta vaporiĝfonto estas malgranda
Diversaj plibonigitaj jonaj tegaĵaj teknologioj uzas elektronfaskajn vaporiĝfontojn, kaj gantu-on kiel punktan vaporiĝfonton, kiu estas limigita al certa intervalo super gantu por reakcia deponado, do la produktiveco estas malalta, la procezo estas malfacila, kaj estas malfacile industriigi.
4. Elektronika pafilo per altprema funkciado
La elektronkanona tensio estas 6~30kV, kaj la biasa tensio de la laborpeco estas 0.5~3kV, kio apartenas al alttensia operacio kaj havas certajn sekurecajn riskojn.
——Ĉi tiun artikolon publikigis Guangdong Zhenhua Technology, kompaniofabrikanto de optikaj tegaĵmaŝinoj.
Afiŝtempo: 12-a de majo 2023