GX600

La ekipaĵo adoptas vertikalan antaŭpordan strukturon kaj aranĝon de aretoj. Ĝi povas esti ekipita per vaporigaj fontoj por metaloj kaj diversaj organikaj materialoj, kaj povas vaporigi siliciajn obleojn de diversaj specifoj. Ekipita per preciza viciga sistemo, la tegaĵo estas stabila kaj la tegaĵo havas bonan ripeteblon.
La tega ekipaĵo GX600 povas precize, egale kaj kontroleble vaporigi organikajn lum-elsendantajn materialojn aŭ metalajn materialojn sur la substraton. Ĝi havas la avantaĝojn de simpla filmformado, alta pureco kaj alta kompakteco. La plene aŭtomata filmdikeco-realtempa monitora sistemo povas certigi la ripeteblon kaj stabilecon de la procezo. Ĝi estas ekipita per memfanda funkcio por redukti la dependecon de la kapabloj de la funkciigisto.
La ekipaĵo povas esti aplikita al Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti kaj aliaj metalaj materialoj, kaj povas esti kovrita per metala filmo, dielektrika tavolo-filmo, IMD-filmo, ktp. Ĝi estas ĉefe uzata en la duonkonduktaĵa industrio, kiel ekzemple potencaj aparatoj, duonkonduktaĵa malantaŭa pakaĵa substrato-tegaĵo, ktp.