GX600

Ο εξοπλισμός υιοθετεί κατακόρυφη δομή μπροστινής πόρτας και διάταξη συμπλέγματος. Μπορεί να εξοπλιστεί με πηγές εξάτμισης για μέταλλα και διάφορα οργανικά υλικά και μπορεί να εξατμίσει πλακίδια πυριτίου διαφόρων προδιαγραφών. Εξοπλισμένο με σύστημα ακριβούς ευθυγράμμισης, η επίστρωση είναι σταθερή και η επίστρωση έχει καλή επαναληψιμότητα.
Ο εξοπλισμός επίστρωσης GX600 μπορεί να εξατμίσει με ακρίβεια, ομοιόμορφα και ελεγχόμενα οργανικά υλικά εκπομπής φωτός ή μεταλλικά υλικά στο υπόστρωμα. Έχει τα πλεονεκτήματα του απλού σχηματισμού μεμβράνης, της υψηλής καθαρότητας και της υψηλής συμπύκνωσης. Το πλήρως αυτόματο σύστημα παρακολούθησης πάχους μεμβράνης σε πραγματικό χρόνο μπορεί να διασφαλίσει την επαναληψιμότητα και τη σταθερότητα της διαδικασίας. Είναι εξοπλισμένο με λειτουργία αυτοτήξης για να μειώσει την εξάρτηση από τις δεξιότητες του χειριστή.
Ο εξοπλισμός μπορεί να εφαρμοστεί σε Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti και άλλα μεταλλικά υλικά και μπορεί να επικαλυφθεί με μεταλλική μεμβράνη, μεμβράνη διηλεκτρικής στρώσης, μεμβράνη IMD κ.λπ. Χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών, όπως συσκευές ισχύος, επίστρωση υποστρώματος οπίσθιας συσκευασίας ημιαγωγών κ.λπ.