GX600

Udstyret anvender vertikal frontdørstruktur og klyngelayout. Det kan udstyres med fordampningskilder til metaller og forskellige organiske materialer og kan fordampe siliciumskiver med forskellige specifikationer. Udstyret med et præcisionsjusteringssystem er belægningen stabil, og belægningen har god repeterbarhed.
GX600-belægningsudstyr kan præcist, jævnt og kontrolleret fordampe organiske lysudstrålende materialer eller metalmaterialer på substratet. Det har fordelene ved enkel filmdannelse, høj renhed og høj kompakthed. Det fuldautomatiske realtidsovervågningssystem til filmtykkelse kan sikre processens repeterbarhed og stabilitet. Det er udstyret med en selvsmeltende funktion for at reducere afhængigheden af ​​operatørens færdigheder.
Udstyret kan anvendes på Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti og andre metalmaterialer og kan belægges med metalfilm, dielektrisk lagfilm, IMD-film osv. Det anvendes hovedsageligt i halvlederindustrien, såsom strømforsyninger, belægning af halvlederbagpakningssubstrat osv.