1. Mae rhagfarn y darn gwaith yn isel
Oherwydd ychwanegu dyfais i gynyddu'r gyfradd ïoneiddio, mae dwysedd y cerrynt rhyddhau yn cynyddu, ac mae'r foltedd rhagfarn yn cael ei leihau i 0.5 ~ 1kV.
Mae'r ôl-chwistrellu a achosir gan fomio gormodol o ïonau egni uchel a'r effaith difrod ar wyneb y darn gwaith yn cael eu lleihau.
2. Dwysedd plasma cynyddol
Mae amryw o fesurau i hyrwyddo ïoneiddio gwrthdrawiad wedi'u hychwanegu, ac mae'r gyfradd ïoneiddio metel wedi cynyddu o 3% i fwy na 15%. Mae dwysedd ïonau gên ac atomau niwtral egni uchel, ïonau nitrogen, atomau gweithredol egni uchel a grwpiau gweithredol yn y siambr cotio wedi cynyddu, sy'n ffafriol i'r adwaith i ffurfio cyfansoddion. Mae'r amrywiol dechnolegau cotio ïonau rhyddhau tywynnu gwell uchod wedi gallu cael haenau ffilm galed TN trwy ddyddodiad adwaith ar ddwyseddau plasma uwch, ond oherwydd eu bod yn perthyn i'r math rhyddhau tywynnu, nid yw'r dwysedd cerrynt rhyddhau yn ddigon uchel (lefel mA/cm2 o hyd), ac nid yw'r dwysedd plasma cyffredinol yn ddigon uchel, ac mae'r broses o orchuddio cyfansoddion dyddodiad adwaith yn anodd.
3. Mae ystod cotio'r ffynhonnell anweddu pwynt yn fach
Mae amrywiol dechnolegau cotio ïonau gwell yn defnyddio ffynonellau anweddu trawst electron, a gantu fel ffynhonnell anweddu pwynt, sydd wedi'i chyfyngu i gyfnod penodol uwchben gantu ar gyfer dyddodiad adwaith, felly mae'r cynhyrchiant yn isel, mae'r broses yn anodd, ac mae'n anodd ei diwydiannu.
4. Gweithrediad pwysedd uchel gwn electronig
Mae foltedd y gwn electron yn 6 ~ 30kV, ac mae foltedd rhagfarn y darn gwaith yn 0.5 ~ 3kV, sy'n perthyn i weithrediad foltedd uchel ac sydd â rhai peryglon diogelwch.
——Rhyddhawyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua Technology, agwneuthurwr peiriannau cotio optegol.
Amser postio: Mai-12-2023