Mae'r offer yn mabwysiadu strwythur drws ffrynt fertigol a chynllun clwstwr. Gellir ei gyfarparu â ffynonellau anweddu ar gyfer metelau ac amrywiol ddeunyddiau organig, a gall anweddu wafferi silicon o wahanol fanylebau. Wedi'i gyfarparu â system alinio manwl gywir, mae'r haen yn sefydlog ac mae gan y haen ailadroddadwyedd da.
Gall offer cotio GX600 anweddu deunyddiau organig sy'n allyrru golau neu ddeunyddiau metel yn gywir, yn gyfartal ac yn rheoledig ar y swbstrad. Mae ganddo fanteision ffurfio ffilm syml, purdeb uchel a chrynodeb uchel. Gall y system monitro amser real trwch ffilm llawn awtomatig sicrhau ailadroddadwyedd a sefydlogrwydd y broses. Mae wedi'i gyfarparu â swyddogaeth hunan-doddi i leihau'r ddibyniaeth ar sgiliau'r gweithredwr.
Gellir defnyddio'r offer ar Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti a deunyddiau metel eraill, a gellir ei orchuddio â ffilm fetel, ffilm haen dielectrig, ffilm IMD, ac ati. Fe'i defnyddir yn bennaf yn y diwydiant lled-ddargludyddion, megis dyfeisiau pŵer, cotio swbstrad pecynnu cefn lled-ddargludyddion, ac ati.
| GX600 | GX900 |
| φ600 * 800 (mm) | φ900*H1050(mm) |