GX600

Zařízení má vertikální konstrukci předních dveří a clusterové uspořádání. Může být vybaveno odpařovacími zdroji pro kovy a různé organické materiály a dokáže odpařovat křemíkové destičky různých specifikací. Díky systému přesného zarovnání je povlak stabilní a má dobrou opakovatelnost.
Zařízení pro nanášení laku GX600 dokáže přesně, rovnoměrně a kontrolovaně odpařovat organické materiály emitující světlo nebo kovové materiály na substrát. Jeho výhodou je jednoduchá tvorba filmu, vysoká čistota a vysoká kompaktnost. Plně automatický systém sledování tloušťky filmu v reálném čase zajišťuje opakovatelnost a stabilitu procesu. Je vybaveno funkcí samotavení, která snižuje závislost na dovednostech obsluhy.
Zařízení lze aplikovat na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti a další kovové materiály a lze jej potáhnout kovovou vrstvou, dielektrickou vrstvou, IMD vrstvou atd. Používá se hlavně v polovodičovém průmyslu, jako jsou výkonová zařízení, povlakování substrátů pro zadní balení polovodičů atd.