Caratteristiche cumuni di a tecnulugia di rivestimentu ionicu di scarica luminosa migliorata

1. A polarizazione di a pezza hè bassa

A causa di l'aghjunta di un dispositivu per aumentà a velocità di ionizazione, a densità di corrente di scarica hè aumentata, è a tensione di polarizazione hè ridutta à 0,5 ~ 1 kV.

U backsputtering causatu da u bumbardamentu eccessivu di ioni d'alta energia è l'effettu di danni nantu à a superficia di a pezza sò ridutti.

2. Densità plasmatica aumentata

Diverse misure per prumove l'ionizazione di collisione sò state aghjunte, è u tassu di ionizazione di i metalli hè aumentatu da 3% à più di 15%. A densità di ioni di mentone è atomi neutri à alta energia, ioni d'azotu, atomi attivi à alta energia è gruppi attivi in ​​a camera di rivestimentu hè aumentata, ciò chì hè favurevule à a reazione per furmà cumposti. E diverse tecnulugie di rivestimentu di ioni di scarica à bagliore migliorate sopra menzionate sò state capaci di ottene strati di film duri TN per deposizione di reazione à densità di plasma più elevate, ma perchè appartenenu à u tipu di scarica à bagliore, a densità di corrente di scarica ùn hè micca abbastanza alta (sempre à livellu di mA/cm2), è a densità generale di plasma ùn hè micca abbastanza alta, è u prucessu di rivestimentu di u cumpostu di deposizione di reazione hè difficiule.

3. A gamma di rivestimentu di a fonte di evaporazione puntuale hè chjuca

Diverse tecnulugie di rivestimentu ionicu migliorate utilizanu fonti di evaporazione di fasciu elettronicu, è gantu cum'è fonte di evaporazione puntuale, chì hè limitata à un certu intervallu sopra gantu per a deposizione di reazione, dunque a produttività hè bassa, u prucessu hè difficiule è hè difficiule da industrializà.

4. Funziunamentu di a pistola elettronica à alta pressione

A tensione di u cannone elettronicu hè 6 ~ 30kV, è a tensione di polarizazione di a pezza hè 0,5 ~ 3kV, chì appartene à u funziunamentu à alta tensione è hà certi periculi per a sicurezza.

—— Questu articulu hè statu publicatu da Guangdong Zhenhua Technology, unafabbricante di macchine di rivestimentu otticu.