GX600

L'equipaggiu adotta una struttura verticale di porta frontale è un layout di cluster. Pò esse equipatu cù fonti d'evaporazione per metalli è diversi materiali organici, è pò evaporà wafer di silicone di varie specifiche. Equipatu cù un sistema d'allineamentu di precisione, u rivestimentu hè stabile è hà una bona ripetibilità.
L'equipaggiu di rivestimentu GX600 pò fà evaporà in modu precisu, uniforme è cuntrullatu i materiali organici chì emettenu luce o i materiali metallichi nantu à u sustratu. Hà i vantaghji di una furmazione di film simplice, alta purezza è alta cumpattezza. U sistema di monitoraghju in tempu reale di u spessore di u film cumpletamente automaticu pò assicurà a ripetibilità è a stabilità di u prucessu. Hè dotatu di una funzione di autofusione per riduce a dipendenza da e cumpetenze di l'operatore.
L'equipaggiu pò esse applicatu à Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti è altri materiali metallichi, è pò esse rivestitu cù film metallicu, film di stratu dielettricu, film IMD, ecc. Hè principalmente adupratu in l'industria di i semiconduttori, cum'è dispositivi di putenza, rivestimentu di substrati di imballaggio posteriore di semiconduttori, ecc.