1. El biaix de la peça és baix
A causa de l'addició d'un dispositiu per augmentar la taxa d'ionització, la densitat de corrent de descàrrega augmenta i la tensió de polarització es redueix a 0,5 ~ 1 kV.
Es redueix la polvorització inversa causada pel bombardeig excessiu d'ions d'alta energia i l'efecte de dany a la superfície de la peça.
2. Augment de la densitat plasmàtica
S'han afegit diverses mesures per promoure la ionització per col·lisió, i la taxa d'ionització metàl·lica ha augmentat del 3% a més del 15%. S'augmenta la densitat d'ions de barbeta i àtoms neutres d'alta energia, ions de nitrogen, àtoms actius d'alta energia i grups actius a la cambra de recobriment, cosa que afavoreix la reacció per formar compostos. Les diverses tecnologies de recobriment d'ions de descàrrega luminescent millorades anteriorment esmentades han permès obtenir capes de pel·lícula dura TN mitjançant la deposició de reacció a densitats de plasma més altes, però com que pertanyen al tipus de descàrrega luminescent, la densitat de corrent de descàrrega no és prou alta (encara nivell de mA/cm2), i la densitat de plasma global no és prou alta, i el procés de recobriment del compost de deposició de reacció és difícil.
3. El rang de recobriment de la font d'evaporació puntual és petit
Diverses tecnologies de recobriment iònic millorades utilitzen fonts d'evaporació de feix d'electrons i gantu com a font d'evaporació puntual, que està limitada a un cert interval per sobre de gantu per a la deposició de reacció, de manera que la productivitat és baixa, el procés és difícil i és difícil d'industrialitzar.
4. Funcionament d'alta pressió de la pistola electrònica
El voltatge del canó d'electrons és de 6 a 30 kV i el voltatge de polarització de la peça és de 0,5 a 3 kV, que pertany al funcionament d'alta tensió i té certs riscos de seguretat.
——Aquest article ha estat publicat per Guangdong Zhenhua Technology, una empresafabricant de màquines de recobriment òptic.
Data de publicació: 12 de maig de 2023