GX600

Oprema ima vertikalnu strukturu prednjih vrata i raspored klastera. Može biti opremljena izvorima isparavanja za metale i različite organske materijale, te može isparavati silicijumske pločice različitih specifikacija. Opremljena sistemom preciznog poravnanja, premaz je stabilan i ima dobru ponovljivost.
Oprema za premazivanje GX600 može precizno, ravnomjerno i kontrolirano isparavati organske materijale koji emituju svjetlost ili metalne materijale na podlogu. Ima prednosti jednostavnog formiranja filma, visoke čistoće i visoke kompaktnosti. Potpuno automatski sistem za praćenje debljine filma u realnom vremenu može osigurati ponovljivost i stabilnost procesa. Opremljena je funkcijom samotopljenja kako bi se smanjila ovisnost o vještinama operatera.
Oprema se može primijeniti na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i druge metalne materijale, te se može premazati metalnim filmom, dielektričnim slojem filma, IMD filmom itd. Uglavnom se koristi u industriji poluprovodnika, kao što su energetski uređaji, premazivanje supstrata zadnjeg pakiranja poluprovodnika itd.