১. ওয়ার্কপিসের পক্ষপাত কম
আয়নীকরণ হার বাড়ানোর জন্য একটি ডিভাইস যুক্ত করার কারণে, স্রাব বর্তমান ঘনত্ব বৃদ্ধি পায় এবং পক্ষপাত ভোল্টেজ 0.5~1kV এ হ্রাস পায়।
উচ্চ-শক্তি আয়নের অত্যধিক বোমাবর্ষণের ফলে সৃষ্ট ব্যাকস্পটারিং এবং ওয়ার্কপিস পৃষ্ঠের ক্ষতির প্রভাব হ্রাস পায়।
২. প্লাজমা ঘনত্ব বৃদ্ধি
সংঘর্ষ আয়নীকরণকে উৎসাহিত করার জন্য বিভিন্ন ব্যবস্থা যোগ করা হয়েছে, এবং ধাতব আয়নীকরণের হার 3% থেকে 15% এর বেশি হয়েছে। আবরণ চেম্বারে চিন আয়ন এবং উচ্চ-শক্তি নিরপেক্ষ পরমাণু, নাইট্রোজেন আয়ন, উচ্চ-শক্তি সক্রিয় পরমাণু এবং সক্রিয় গোষ্ঠীর ঘনত্ব বৃদ্ধি পেয়েছে, যা যৌগ গঠনের প্রতিক্রিয়ার জন্য সহায়ক। উপরোক্ত বিভিন্ন উন্নত গ্লো ডিসচার্জ আয়ন আবরণ প্রযুক্তি উচ্চ প্লাজমা ঘনত্বে প্রতিক্রিয়া জমার মাধ্যমে TN হার্ড ফিল্ম স্তরগুলি পেতে সক্ষম হয়েছে, কিন্তু যেহেতু তারা গ্লো ডিসচার্জ ধরণের অন্তর্গত, স্রাব বর্তমান ঘনত্ব যথেষ্ট বেশি নয় (এখনও mA/cm2 স্তর), এবং সামগ্রিক প্লাজমা ঘনত্ব যথেষ্ট বেশি নয়, এবং প্রতিক্রিয়া জমা যৌগ আবরণ প্রক্রিয়া কঠিন।
৩. বিন্দু বাষ্পীভবন উৎসের আবরণ পরিসর ছোট
বিভিন্ন উন্নত আয়ন আবরণ প্রযুক্তি ইলেকট্রন রশ্মি বাষ্পীভবন উৎস ব্যবহার করে, এবং গ্যান্টুকে একটি বিন্দু বাষ্পীভবন উৎস হিসেবে ব্যবহার করে, যা বিক্রিয়া জমার জন্য গ্যান্টুর উপরে একটি নির্দিষ্ট ব্যবধানে সীমাবদ্ধ, তাই উৎপাদনশীলতা কম, প্রক্রিয়াটি কঠিন এবং শিল্পায়ন করা কঠিন।
৪. ইলেকট্রনিক বন্দুক উচ্চ-চাপ অপারেশন
ইলেকট্রন বন্দুকের ভোল্টেজ 6~30kV, এবং ওয়ার্কপিসের বায়াস ভোল্টেজ 0.5~3kV, যা উচ্চ-ভোল্টেজ অপারেশনের অন্তর্গত এবং কিছু নিরাপত্তা ঝুঁকি রয়েছে।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, একটিঅপটিক্যাল লেপ মেশিনের প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: মে-১২-২০২৩