1. Отклонението на детайла е ниско
Поради добавянето на устройство за увеличаване на скоростта на йонизация, плътността на разрядния ток се увеличава и напрежението на отклонение се намалява до 0,5~1 kV.
Обратното разпрашване, причинено от прекомерно бомбардиране с високоенергийни йони, и ефектът на увреждане върху повърхността на детайла са намалени.
2. Повишена плътност на плазмата
Добавени са различни мерки за насърчаване на сблъсъчната йонизация, а скоростта на йонизация на метала се е увеличила от 3% на над 15%. Плътността на бленд йоните и високоенергийните неутрални атоми, азотните йони, високоенергийните активни атоми и активните групи в камерата за покритие е увеличена, което е благоприятно за реакцията за образуване на съединения. Различните подобрени технологии за йонно покритие с тлеещ разряд са успели да получат твърди TN филмови слоеве чрез реакционно отлагане при по-високи плътности на плазмата, но тъй като те принадлежат към типа тлеещ разряд, плътността на разрядния ток не е достатъчно висока (все още на ниво mA/cm2), а общата плътност на плазмата не е достатъчно висока и процесът на реакционно отлагане на покритие с съединение е труден.
3. Обхватът на покритие на точковия източник на изпарение е малък
Различни технологии за подобрено йонно покритие използват източници на електроннолъчево изпарение и ганту като точков източник на изпарение, който е ограничен до определен интервал над ганту за реакционно отлагане, така че производителността е ниска, процесът е труден и е трудно да се индустриализира.
4. Работа с електронен пистолет под високо налягане
Напрежението на електронната пушка е 6~30kV, а напрежението на отклонение на детайла е 0,5~3kV, което принадлежи към работа с високо напрежение и крие определени рискове за безопасността.
——Тази статия е публикувана от Guangdong Zhenhua Technology,производител на машини за оптично покритие.
Време на публикуване: 12 май 2023 г.