1. Зрушэнне дэталі нізкае
Дзякуючы даданню прылады для павелічэння хуткасці іянізацыі, шчыльнасць току разраду павялічваецца, а напружанне зрушэння зніжаецца да 0,5~1 кВ.
Зваротнае распыленне, выкліканае празмернай бамбардзіроўкай высокаэнергетычных іонаў, і пашкоджвальны ўплыў на паверхню апрацоўванай дэталі памяншаюцца.
2. Павышаная шчыльнасць плазмы
Былі дададзены розныя меры для стымулявання іанізацыі сутыкненнямі, і хуткасць іанізацыі металу павялічылася з 3% да больш чым 15%. Шчыльнасць іонаў хін і высокаэнергетычных нейтральных атамаў, іонаў азоту, высокаэнергетычных актыўных атамаў і актыўных груп у камеры пакрыцця павялічылася, што спрыяе рэакцыі з утварэннем злучэнняў. Вышэйзгаданыя розныя палепшаныя тэхналогіі іённага пакрыцця тлеючым разрадам дазвалялі атрымліваць цвёрдыя плёнкі TN шляхам рэакцыйнага нанясення пры больш высокай шчыльнасці плазмы, але, паколькі яны адносяцца да тыпу тлеючага разраду, шчыльнасць току разраду недастаткова высокая (усё яшчэ ўзровень мА/см2), і агульная шчыльнасць плазмы недастаткова высокая, і працэс рэакцыйнага нанясення злучэнняў складаны.
3. Дыяпазон пакрыцця кропкавай крыніцы выпарэння невялікі
Розныя тэхналогіі палепшанага іённага пакрыцця выкарыстоўваюць крыніцы электронна-прамянёвага выпарэння і ганту ў якасці кропкавай крыніцы выпарэння, якая абмежаваная пэўным інтэрвалам вышэй ганту для рэакцыйнага нанясення, таму прадукцыйнасць нізкая, працэс складаны і яго цяжка прамыслова рэалізаваць.
4. Электронны пісталет працуе пад высокім ціскам
Напружанне электроннай гарматы складае 6~30 кВ, а напружанне зрушэння дэталі — 0,5~3 кВ, што адносіцца да працы пры высокім напружанні і мае пэўныя рызыкі для бяспекі.
——Гэты артыкул быў апублікаваны кампаніяй Guangdong Zhenhua Technology,вытворца машын для аптычнага пакрыцця.
Час публікацыі: 12 мая 2023 г.