GX600

Абсталяванне мае вертыкальную канструкцыю пярэдніх дзвярэй і кластарную кампаноўку. Яно можа быць абсталявана крыніцамі выпарэння для металаў і розных арганічных матэрыялаў, а таксама можа выпарваць крэмніевыя пласціны розных характарыстык. Абсталяванае сістэмай дакладнага выраўноўвання, пакрыццё стабільнае і мае добрую паўтаральнасць.
Абсталяванне для нанясення пакрыццяў GX600 можа дакладна, раўнамерна і кантралявана выпарваць арганічныя святловыпрамяняльныя матэрыялы або металічныя матэрыялы на падкладку. Яно мае такія перавагі, як простае фарміраванне плёнкі, высокая чысціня і высокая кампактнасць. Цалкам аўтаматычная сістэма кантролю таўшчыні плёнкі ў рэжыме рэальнага часу можа забяспечыць паўтаральнасць і стабільнасць працэсу. Яно абсталявана функцыяй самаплаўлення, каб паменшыць залежнасць ад навыкаў аператара.
Абсталяванне можа быць ужыта да Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti і іншых металічных матэрыялаў, і можа быць пакрыта металічнай плёнкай, дыэлектрычнай плёнкай, плёнкай IMD і г.д. Яно ў асноўным выкарыстоўваецца ў паўправадніковай прамысловасці, напрыклад, у сілавых прыладах, пакрыцці падкладак для задняй упакоўкі паўправаднікоў і г.д.