السمات المشتركة لتقنية طلاء الأيونات المتوهجة المعززة

1. تحيز قطعة العمل منخفض

بسبب إضافة جهاز لزيادة معدل التأين، تزداد كثافة تيار التفريغ، وينخفض ​​جهد التحيز إلى 0.5~1 كيلو فولت.

يتم تقليل الرش العكسي الناتج عن القصف المفرط للأيونات عالية الطاقة وتأثير الضرر على سطح قطعة العمل.

2. زيادة كثافة البلازما

أُضيفت تدابير متنوعة لتعزيز تأين التصادم، وارتفع معدل تأين المعدن من 3% إلى أكثر من 15%. ازدادت كثافة أيونات الذرات المتعادلة عالية الطاقة، وأيونات النيتروجين، والذرات النشطة عالية الطاقة، والمجموعات النشطة في حجرة الطلاء، مما يُسهّل التفاعل لتكوين المركبات. وقد استطاعت تقنيات طلاء أيونات التفريغ المتوهج المُحسّن المذكورة أعلاه الحصول على طبقات أغشية صلبة من TN عن طريق الترسيب التفاعلي عند كثافات بلازما أعلى، ولكن لانتمائها إلى نوع التفريغ المتوهج، فإن كثافة تيار التفريغ ليست عالية بما يكفي (لا تزال عند مستوى مللي أمبير/سم²)، وكثافة البلازما الكلية ليست عالية بما يكفي، مما يُصعّب عملية طلاء مركب الترسيب التفاعلي.

3. نطاق طلاء مصدر التبخر النقطي صغير

تستخدم تقنيات طلاء الأيونات المحسنة المختلفة مصادر تبخر حزمة الإلكترون، والجانتو كمصدر تبخر نقطي، والذي يقتصر على فترة زمنية معينة فوق الجانتو لترسيب التفاعل، وبالتالي تكون الإنتاجية منخفضة، وتكون العملية صعبة، ومن الصعب تصنيعها.

4. تشغيل البندقية الإلكترونية تحت الضغط العالي

جهد بندقية الإلكترون هو 6~30 كيلو فولت، وجهد تحيز قطعة العمل هو 0.5~3 كيلو فولت، وهو ينتمي إلى التشغيل عالي الجهد وله مخاطر سلامة معينة.

——تم نشر هذه المقالة بواسطة شركة Guangdong Zhenhua Technology، وهي شركةمُصنِّع آلات الطلاء البصري.