1. Die werkstukvooroordeel is laag
As gevolg van die byvoeging van 'n toestel om die ionisasietempo te verhoog, word die ontladingsstroomdigtheid verhoog en die voorspanning verminder tot 0.5~1kV.
Die terugsputtering wat veroorsaak word deur oormatige bombardement van hoë-energie ione en die skade-effek op die werkstukoppervlak word verminder.
2. Verhoogde plasmadigtheid
Verskeie maatreëls om botsingsionisasie te bevorder, is bygevoeg, en die metaalionisasietempo het van 3% tot meer as 15% toegeneem. Die digtheid van kinione en hoë-energie neutrale atome, stikstofione, hoë-energie aktiewe atome en aktiewe groepe in die bedekkingskamer word verhoog, wat bevorderlik is vir die reaksie om verbindings te vorm. Die bogenoemde verskeie verbeterde gloei-ontladingsioonbedekkingstegnologieë kon TN-harde filmlae verkry deur reaksiedeponering teen hoër plasmadigthede, maar omdat hulle tot die gloei-ontladingstipe behoort, is die ontladingsstroomdigtheid nie hoog genoeg nie (steeds mA/cm2-vlak), en die algehele plasmadigtheid is nie hoog genoeg nie, en die proses van reaksiedeponeringsverbindingsbedekking is moeilik.
3. Die bedekkingsbereik van die puntverdampingsbron is klein
Verskeie verbeterde ioonbedekkingstegnologieë gebruik elektronstraalverdampingsbronne, en gantu as 'n puntverdampingsbron, wat beperk is tot 'n sekere interval bo gantu vir reaksieafsetting, dus is die produktiwiteit laag, die proses moeilik en dit is moeilik om te industrialiseer.
4. Elektroniese geweer hoëdrukwerking
Die elektrongeweerspanning is 6~30kV, en die werkstukvoorspanning is 0.5~3kV, wat tot hoëspanningswerking behoort en sekere veiligheidsgevare inhou.
——Hierdie artikel is vrygestel deur Guangdong Zhenhua Technology, 'nvervaardiger van optiese bedekkingsmasjiene.
Plasingstyd: 12 Mei 2023