GX600

Die toerusting gebruik vertikale voordeurstruktuur en trosuitleg. Dit kan toegerus word met verdampingsbronne vir metale en verskeie organiese materiale, en kan silikonwafers van verskillende spesifikasies verdamp. Toegerus met 'n presisie-belyningstelsel, is die deklaag stabiel en het die deklaag goeie herhaalbaarheid.
GX600-bedekkingstoerusting kan organiese liguitstralende materiale of metaalmateriale akkuraat, egalig en beheerbaar op die substraat verdamp. Dit het die voordele van eenvoudige filmvorming, hoë suiwerheid en hoë kompaktheid. Die vol-outomatiese filmdikte-intydse moniteringstelsel kan die herhaalbaarheid en stabiliteit van die proses verseker. Dit is toegerus met 'n selfsmeltfunksie om die afhanklikheid van die operateur se vaardighede te verminder.
Die toerusting kan op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti en ander metaalmateriale toegepas word, en kan bedek word met metaalfilm, diëlektriese laagfilm, IMD-film, ens. Dit word hoofsaaklik in die halfgeleierbedryf gebruik, soos kragtoestelle, halfgeleier-agterverpakkingsubstraatbedekking, ens.