Magnetron püskürtme we katod köp ýaýly ion örtüginiň kompozit örtük enjamlary aýratyn we bir wagtda işläp biler; arassa metal plýonka, metal garyndy plýonka ýa-da kompozit plýonka goýlup we taýýarlanyp bilner; bir gatlakly plýonka we köp gatlakly kompozit plýonka bolup biler.
Onuň artykmaçlyklary aşakdaky ýaly:
Ol diňe bir dürli ion örtükleriniň artykmaçlyklaryny birleşdirip, dürli ulanylyş ugurlary üçin inçe plýonkany taýýarlamagy we çökdürmegi göz öňünde tutup, şol bir wagtyň özünde köp gatlakly monolit plýonkalary ýa-da köp gatlakly kompozit plýonkalary şol bir wakuum örtük kamerasynda çökdürmäge we taýýarlamaga mümkinçilik berýär.
Çökdürilen plýonka gatlaklarynyň ulanylyş ugurlary giňden ulanylýar, onuň tehnologiýalary dürli görnüşlerde, adaty görnüşleri aşakdakylar:
(1) Deňsiz magnetron püskürtme we katod ion örtük tehnologiýasynyň birleşmesi.
Onuň gurluşy aşakdaky ýaly görkezilýär. Ol sütünli magnetron nyşanasyndan we tekiz katod ýaý ion örtüginden ybarat bolan garyşyk örtük enjamy bolup, gural örtügi garyşyk plýonkasy we bezeg plýonkasy üçin amatlydyr. Gural örtügi üçin ilki bilen esasy gatlak örtügi üçin katod ýaý ion örtügi ulanylýar, soňra bolsa ýokary takyklykly işleme gurallarynyň ýüz plýonkasyny almak üçin sütünli magnetron nyşana nitrid we beýleki plýonka gatlaklaryny çöketmek üçin ulanylýar.
Bezeg örtügi üçin TiN we ZrN bezeg plýonkalaryny ilki katodik ýaý örtügi arkaly goýup bolýar, soňra magnetron nyşanalaryny ulanyp metal bilen lehimläp bolýar we lehimleme täsiri örän gowy bolýar.
(2) Iki tekizlik magnetron we sütun katod ýaý ion örtük tehnikalarynyň birleşmesi. Enjam aşakdaky ýaly görkezilýär. Orta ýygylykly elektrik üpjünçiligine iki ýan-ýana iki sany iki sany nyşana birikdirilende, ol diňe bir DC püskürmesiniň, ot we beýleki kemçilikleriň nyşana zäherlenmesini ýeňip geçmek bilen çäklenmän, Al203, SiO2 oksid hilli plýonkany goýup bilýär, şonuň üçin örtülen bölekleriň oksidlenme garşylygy ýokarlanýar we gowulanýar. Wakuum kamerasynyň merkezine sütunly köp ýaýly nyşana oturdylanda, nyşana material Ti we Zr ulanylyp bilner, bu diňe bir ýokary köp ýaýly dissosiasiýa tizliginiň, çökme tizliginiň artykmaçlyklaryny saklamak bilen çäklenmän, eýsem kiçi tekizlikli köp ýaýly nyşana çökme prosesinde "damjalary" netijeli azaldyp bilýär, pes gözenekli metal plýonkalaryny, birleşme plýonkalaryny goýup we taýýarlap bilýär. Eger Al we Si periferiýada oturdylan iki tekizlik magnetron nyşanalary üçin nyşana materiallary hökmünde ulanylsa, Al203 ýa-da Si0 metal-keramiki plýonkalary goýup we taýýarlap bolýar. Mundan başga-da, periferiýada köp ýaýly bugaryş çeşmesiniň birnäçe kiçi tekizlikleri gurnalyp bilner we onuň nyşana alnan materialy Cr ýa-da Ni bolup biler, şeýle hem metal plýonkalar we köp gatlakly kompozit plýonkalar ýerleşdirilip, taýýarlanyp bilner. Şonuň üçin bu kompozit örtük tehnologiýasy köp ulanylyşly kompozit örtük tehnologiýasydyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 8-nji noýabry