Ny fitaovana fandokoana mitambatra amin'ny magnetron sputtering sy cathodic multi-arc ion coating dia afaka miasa misaraka sy miaraka; azo apetraka sy omanina ny sarimihetsika metaly madio, sarimihetsika metaly mitambatra na sarimihetsika mitambatra; mety ho sosona sarimihetsika tokana sy sarimihetsika mitambatra maro sosona.
Ireto avy ny tombony azo avy aminy:
Tsy vitan'ny hoe mampifangaro ny tombony azo avy amin'ny coating ion isan-karazany izy io ary mandinika ny fanomanana sy ny fametrahana sarimihetsika manify ho an'ny sehatra fampiharana isan-karazany, fa mamela ihany koa ny fametrahana sy fanomanana sarimihetsika monolithic misy sosona maro na sarimihetsika composite misy sosona maro ao anaty efitrano coating banga iray ihany indray mandeha.
Ny fampiasana ireo sosona sarimihetsika napetraka dia ampiasaina betsaka, ny teknolojiany dia amin'ny endrika isan-karazany, ireto manaraka ireto ny mahazatra:
(1) Ny fitambaran'ny teknolojia fanindronana magnetron tsy mitovy lanja sy ny fametahana ion katodika.
Aseho toy izao ny fitaovany. Fitaovana fandrakofana mitambatra misy lasibatra magnetron tsanganana sy lasibatra ion arc katodika fisaka izy io, izay mety amin'ny fandrakofana fitaovana sarimihetsika mitambatra sy fandrakofana sarimihetsika haingon-trano. Ho an'ny fandrakofana fitaovana, ny fandrakofana ion arc katodika dia ampiasaina voalohany amin'ny fandrakofana sosona fototra, ary avy eo ny lasibatra magnetron tsanganana dia ampiasaina amin'ny fametrahana nitride sy sosona sarimihetsika hafa mba hahazoana sarimihetsika eny ambonin'ny fitaovana fanodinana avo lenta.
Ho an'ny coating haingon-trano, ny sarimihetsika haingon-trano TiN sy ZrN dia azo apetraka amin'ny alàlan'ny coating cathodic arc aloha, ary avy eo dia asiana metaly amin'ny alàlan'ny magnetron targets, ary tena tsara ny fiantraikan'ny doping.
(2) Ny fitambaran'ny teknika fandokoana ion amin'ny alalan'ny magnetron roa sosona sy cathode arc column. Aseho toy izao ny fitaovana. Mampiasa ny teknolojia lasibatra roa mandroso izy io, rehefa ampifandraisina amin'ny famatsiana herinaratra matetika antonony ny lasibatra roa mifanila, dia tsy vitan'ny hoe mandresy ny fanapoizinana lasibatra amin'ny DC sputtering, afo ary lesoka hafa; ary afaka mametraka sarimihetsika Al203, SiO2 oxide kalitao, mba hampitomboana sy hanatsarana ny fanoherana ny oksidasionan'ny faritra voarakotra. Rehefa apetraka eo afovoan'ny efitrano banga ny lasibatra maro-arc columnar, dia azo ampiasaina ny Ti sy Zr, tsy vitan'ny hoe mitazona ny tombony amin'ny tahan'ny dissociation maro-arc avo lenta, tahan'ny fametrahana, fa afaka mampihena tsara ny "ranoka" amin'ny dingan'ny fametrahana lasibatra maro-arc kely, afaka mametraka sy manomana porosity ambany amin'ny sarimihetsika metaly, sarimihetsika mitambatra. Raha ampiasaina ho fitaovana lasibatra ho an'ny lasibatra magnetron roa planar napetraka eo amin'ny sisiny ny Al sy Si, dia azo apetraka sy omanina ny sarimihetsika metaly-seramika Al203 na Si0. Ankoatra izany, azo apetraka eo amin'ny sisiny ny sehatra kely maromaro misy loharano etona misy arika maro, ary ny akora kendrena dia mety ho Cr na Ni, ary azo apetraka sy omanina ny sarimihetsika metaly sy ny sarimihetsika mitambatra misy sosona maro. Noho izany, ity teknolojia fandokoana mitambatra ity dia teknolojia fandokoana mitambatra izay misy fampiharana maro.
Fotoana fandefasana: 08 Novambra 2022