Magnetronli purkash va katodik ko'p yoyli ionli qoplamaning kompozit qoplama uskunalari alohida va bir vaqtning o'zida ishlashi mumkin; sof metall plyonka, metall aralash plyonka yoki kompozit plyonka qo'yilishi va tayyorlanishi mumkin; bitta qatlamli plyonka va ko'p qatlamli kompozit plyonka bo'lishi mumkin.
Uning afzalliklari quyidagicha:
Bu nafaqat turli xil ion qoplamalarining afzalliklarini birlashtiradi va turli xil qo'llanilish sohalari uchun yupqa plyonka tayyorlash va cho'ktirishni hisobga oladi, balki bir vaqtning o'zida bir xil vakuum qoplama kamerasida ko'p qatlamli monolit plyonkalar yoki ko'p qatlamli kompozit plyonkalarni cho'ktirish va tayyorlash imkonini beradi.
Cho'ktirilgan plyonka qatlamlarini qo'llash keng qo'llaniladi, uning texnologiyalari turli shakllarda, odatda quyidagilarda mavjud:
(1) Muvozanatsiz magnetronli purkash va katodli ion qoplama texnologiyasining birikmasi.
Uning qurilmasi quyidagicha ko'rsatilgan. Bu ustunli magnetron nishon va tekis katodik yoy ion qoplamasidan iborat aralash qoplama uskunasi bo'lib, u ham asbob qoplamasi aralash plyonkasi, ham dekorativ plyonka qoplamasi uchun mos keladi. Asbob qoplamasi uchun avval katod yoy ion qoplamasi asosiy qatlam qoplamasi uchun ishlatiladi, so'ngra ustunli magnetron nishoni yuqori aniqlikdagi ishlov berish vositasi sirt plyonkasini olish uchun nitrid va boshqa plyonka qatlamlarini cho'ktirish uchun ishlatiladi.
Dekorativ qoplama uchun TiN va ZrN dekorativ plyonkalarini avval katodik yoy qoplamasi bilan qo'yish mumkin, so'ngra magnetron nishonlari yordamida metall bilan qoplash mumkin va qo'shimcha effekt juda yaxshi.
(2) Ikki tekislikli magnetron va ustunli katodli yoyli ion qoplama texnikasining birikmasi. Qurilma quyidagicha ko'rsatilgan. U ilg'or ikki nishonli texnologiyadan foydalanadi, ikkita yonma-yon qo'shaloq nishon o'rta chastotali quvvat manbaiga ulanganida, u nafaqat DC chayqalishi, yong'in va boshqa kamchiliklarning nishon zaharlanishini yengib chiqadi; va Al203, SiO2 oksidi sifatli plyonkani qo'yishi mumkin, shunda qoplangan qismlarning oksidlanish qarshiligi oshadi va yaxshilanadi. Vakuum kamerasining markaziga o'rnatilgan ustunli ko'p yoyli nishon, maqsadli material sifatida Ti va Zr ishlatilishi mumkin, bu nafaqat yuqori ko'p yoyli dissotsiatsiya tezligi va cho'kish tezligining afzalliklarini saqlab qolish uchun, balki kichik tekislikli ko'p yoyli nishonni qo'yish jarayonida "tomchilar"ni samarali ravishda kamaytirishi mumkin, metall plyonkalarning past g'ovakliligini, aralash plyonkalarni qo'yishi va tayyorlashi mumkin. Agar Al va Si periferiyaga o'rnatilgan ikki tekislikli magnetron nishonlari uchun maqsadli material sifatida ishlatilsa, Al203 yoki Si0 metall-keramik plyonkalarni qo'yish va tayyorlash mumkin. Bundan tashqari, periferiyaga ko'p yoyli bug'lanish manbasining bir nechta kichik tekisliklari o'rnatilishi mumkin va uning maqsadli materiali Cr yoki Ni bo'lishi mumkin, metall plyonkalar va ko'p qatlamli kompozit plyonkalar yotqizilishi va tayyorlanishi mumkin. Shuning uchun, bu kompozit qoplama texnologiyasi ko'p qo'llanilishga ega kompozit qoplama texnologiyasidir.
Nashr vaqti: 2022-yil 8-noyabr