Apparatuur voor gecombineerde coating met behulp van magnetron sputteren en kathodische multi-boog ionencoating kan afzonderlijk en gelijktijdig werken; hiermee kunnen zuivere metaalfilms, metaalcomposietfilms of composietfilms worden afgezet en geprepareerd; zowel enkellaagse films als meerlaagse composietfilms kunnen worden geproduceerd.
De voordelen zijn als volgt:
Het combineert niet alleen de voordelen van verschillende ionencoatings en houdt rekening met de voorbereiding en afzetting van dunne films voor diverse toepassingsgebieden, maar maakt het ook mogelijk om meerlaagse monolithische films of meerlaagse composietfilms in één keer in dezelfde vacuümcoatingkamer af te zetten en te prepareren.
De toepassingen van afgezette filmlagen zijn zeer divers en de technologieën die ervoor gebruikt worden, bestaan in verschillende vormen. De meest voorkomende zijn de volgende:
(1) De combinatie van niet-evenwichtige magnetron sputtertechnologie en kathodische ionenplatingtechnologie.
Het apparaat wordt hieronder weergegeven. Het is een gecombineerd coatingsysteem met een kolomvormig magnetrondoel en een vlak kathodisch boogionencoatingsysteem, dat geschikt is voor zowel het coaten van gereedschapsoppervlakken met een samengestelde laag als het coaten van decoratieve lagen. Voor het coaten van gereedschapsoppervlakken wordt eerst de kathodische boogionencoating gebruikt voor het aanbrengen van de basislaag, waarna het kolomvormige magnetrondoel wordt gebruikt voor het afzetten van nitride en andere filmlagen om een zeer nauwkeurige oppervlaktecoating voor het gereedschap te verkrijgen.
Voor decoratieve coatings kunnen TiN- en ZrN-decoratieve films eerst worden aangebracht door middel van kathodische boogcoating, en vervolgens worden gedoteerd met metaal met behulp van magnetrontargets, waarbij het doteringseffect zeer goed is.
(2) De combinatie van tweevlaksmagnetron- en kolomkathodeboog-ionencoatingtechnieken. Het apparaat wordt hieronder weergegeven. Het maakt gebruik van de geavanceerde dubbele-targettechnologie, waarbij twee naast elkaar geplaatste dubbele targets zijn gekoppeld aan een middenfrequente voeding. Dit overwint niet alleen de nadelen van targetvergiftiging bij DC-sputteren, brandgevaar en andere problemen, maar maakt ook de afzetting van hoogwaardige Al2O3- en SiO2-oxidefilms mogelijk, waardoor de oxidatieweerstand van de gecoate onderdelen toeneemt en verbetert. Een kolomvormig multi-boogtarget is in het midden van de vacuümkamer geplaatst. Het targetmateriaal kan Ti en Zr zijn. Dit behoudt niet alleen de voordelen van een hoge multi-boogdissociatiesnelheid en afzettingssnelheid, maar vermindert ook effectief de vorming van "druppels" tijdens het afzetten op een klein vlak multi-boogtarget. Hierdoor kunnen metaalfilms en samengestelde films met een lage porositeit worden afgezet en geprepareerd. Als Al en Si worden gebruikt als targetmateriaal voor de tweevlaksmagnetrontargets die aan de periferie zijn geplaatst, kunnen Al2O3- of SiO-metaalkeramische films worden afgezet en geprepareerd. Daarnaast kunnen aan de rand meerdere kleine vlakken met een meerboogverdampingsbron worden geïnstalleerd, waarbij het doelmateriaal Cr of Ni kan zijn. Op deze manier kunnen metaalfilms en meerlaagse composietfilms worden afgezet en geprepareerd. Deze composietcoatingtechnologie is daarom een technologie met meerdere toepassingen.
Geplaatst op: 08-11-2022