Опрема за композитно премазивање магнетронског распршивања и катодног вишелучног јонског премаза може радити одвојено и истовремено;може се депоновати и припремити чисти метални филм, филм од металних спојева или композитни филм;може бити једнослојни филм и вишеслојни композитни филм.
Његове предности су следеће:
Не само да комбинује предности различитих јонских премаза и узима у обзир припрему и таложење танког филма за различите области примене, већ такође омогућава наношење и припрему вишеслојних монолитних филмова или вишеслојних композитних филмова у истом вакууму. комора за облагање у једном тренутку.
Примене слојева депонованог филма се широко користе, његове технологије су у различитим облицима, типични су следећи:
(1) Једињење неравнотежног магнетронског распршивања и технологије катодног јонског облагања.
Његов уређај је приказан на следећи начин.То је сложена опрема за премазивање колонасте магнетронске мете и планарног катодног лучног јонског премаза, која је погодна и за сложени филм за облагање алата и за декоративни филмски премаз.За премазивање алата, катодни лучни јонски премаз се користи прво за премазивање основног слоја, а затим се колона магнетронска мета користи за таложење нитридних и других слојева филма да би се добио површински филм алата високе прецизности.
За декоративни премаз, декоративни филмови ТиН и ЗрН могу се прво нанијети премазивањем катодног лука, а затим допирати металом помоћу магнетронских мета, а ефекат допинга је врло добар.
(2) Једињење дворавног магнетрона и техника облагања катодног јона на колони.Уређај је приказан на следећи начин.Користи се напредна технологија двоструких мета, када су две једна поред друге двоструке мете повезане са напајањем средње фреквенције, не само да превазилази циљно тровање ДЦ прскања, ватре и других недостатака;и може депоновати филм квалитета Ал203, СиО2 оксида, тако да се отпорност на оксидацију обложених делова повећала и побољшала.Колумна вишелучна мета инсталирана у центру вакуумске коморе, циљни материјал се може користити Ти и Зр, не само да би се одржале предности високе стопе дисоцијације у више лука, стопе таложења, већ такође може ефикасно смањити "капљице" у процес таложења мета са више лука у малој равни, може депоновати и припремити ниску порозност металних филмова, сложених филмова.Ако се Ал и Си користе као циљни материјали за двоструке планарне магнетронске мете инсталиране на периферији, Ал203 или Си0 метал-керамички филмови могу да се депонују и припреме.Поред тога, више малих равни извора вишелучног испаравања може се инсталирати на периферији, а његов циљни материјал може бити Цр или Ни, а метални филмови и вишеслојни композитни филмови могу се депоновати и припремити.Стога је ова технологија композитног премаза технологија композитног премаза са вишеструким применама.
Време поста: 08.11.2022